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Schichtdickenmessung von Anorganischen Schichten


Die hochpräzise Technik unserer TranSpec Schichtdickenmessgeräte ermöglicht die Bestimmung der Dicke sogar im Submikro-Bereich, z.B. von Anorganischen Schichten aus der Vakuum-Verdampfung.

Das Bild unten zeigt das 3D-Schichtdickenprofil einer 10 x 10 mm großen Diamantschicht auf Silizium in einem Dickenbereich von ca. 0.8-1.0 Mikrometer. Jede Farbe in der dargestellten Grafik umfasst einen relativen Dickenbereich von nur 0.0012 Mikrometer (12 Nanometer). Beachten Sie bitte die Feinstrukturen auf dem Plateau der Diamantschicht!
 

3D-Schichtdickenprofil einer Diamantschicht
 

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Letzte Änderung:  02. January 2008