Schichtdickenmessung
Schematischer Messaufbau

Die Interferenzspektren von transparenten oder teiltransparenten Schichten werden von unserem TranSpec-DSP Spektrometer und einer HSL-2 Halogen Spektrallampe gemessen und mit unserer Software FTM-ProVis 2000 ausgewertet. Die Abbildung unten zeigt schematisch den Aufbau eines Schichtdicken-Messplatzes (dasselbe Prinzip gilt auch für die FTM-Lite Schichtdicken-Messgeräte):
 

Die zu messende Schicht wird über einen zweiarmigen Y-Lichtleiter bestrahlt, der mit dem TranSpec Spektrometer und der Halogenlampe verbunden ist. Das reflektierte Interferenzspektrum wird dem Spektrometer zugeführt, spektral analysiert und anschließend daraus die Schichtdicke berechnet.