FTM-ProVis 2000 Software
zur Schichtdickenmessung

Unsere Schichtdickensoftware FTM-ProVis 2000 für Windows 2000/XP wurde speziell für die Bedürfnisse in der Prozess-Messtechnik ausgelegt. Zum Beispiel kann mit Hilfe von FTM-ProVis 2000 der eigentliche Schichtdicken-Sensor (Lichtleiter) mit einer einachsigen Traversieranlage in Querrichtung zu einer Beschichtungsanlage vollautomatisch verfahren werden (siehe auch das Applikationsbeispiel Schichtdickenmessung auf Beschichtungs- oder Folienmaschinen).

FTM-ProVis 2000  Produktinformation und techn. Spezifikationen:
 

Das Bild unten zeigt eine beispielhafte Fensteranordnung zur Schichtdickenmessung mit FTM-ProVis 2000. Die Grafik links oben zeigt das aktuell gemessene Interferenzspektrum, darunter ist die berechnete Schichtdicke angezeigt. Die 3D-Grafik rechts zeigt das gemessene Schichtdickenprofil einer Photoresist-Schicht: