Messgeräte
Auf den nachfolgenden Seiten finden Sie detaillierte Informationen zu unseren Produkten für die Schichtdickenmessung und zur Plasma-Emissionsüberwachung.
| Die FTM-Lite Messgeräte sind speziell für manuell ausgeführte und einfach zu handhabende, aber dennoch hochpräzise Schichtdicken-messungen im Labor entwickelt worden. |
 FTM-Lite Schichtdicken-Messgerät |
| Das Lichtleitergekoppelte FTM-Micro Schichtdicken-Mikroskop verkleinert den Messfleck für die Dicken-messung auf ca. 50-100 Mikrometer. Über eine spezielle, an das Mikroskop angeschlossene Farb-kamera wird der Bildausschnitt zusammen mit dem Messfleck in Echtzeit in der Schichtdicken-Software visualisiert. |
 FTM-Micro Schichtdicken-Mikroskop |
| Bei den TranSpec Spektrometern wird innovative Opto- mit modernster Digital-Elektronik kombiniert. Die Spektrometer werden hauptsächlich zur Schichtdickenmessung im Prozess und zum Plasma-Monitoring eingesetzt. |
 TranSpec Prozess-Spektrometer |