Ingenieurbüro für Angewandte Spektrometrie

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Plasma-Emissionsmessung

Eine objektive und kontinuierliche Prozessüberwachung von Niederdruck-Plasmaanlagen, wie z.B. bei der PVD (Physical Vapor Deposition), ist immer noch eine der großen Aufgabenstellungen in der Betriebsmesstechnik. Neben der gemeinhin üblichen visuellen Begutachtung des Plasmas wird häufig die Massenspektroskopie eingesetzt. Speziell die Massenspektroskopie ist jedoch schwer zu handhaben und die Messergebnisse sind nicht leicht zu interpretieren. Verglichen mit diesen Methoden liegen die Vorteile der OES (Optische Emissions Spektroskopie), unter Verwendung unserer Lichtleitergekoppelten TranSpec Spektrometer klar auf der Hand:

  • Simultane Messung im Spektralbereich ca. 200...1000 nm
  • Erfassung auch geringster Emissions-Strahlungsleistung
  • An praktisch jeden Rezipienten anschließbar
  • Wartungsfreie und einfach zu handhabende Technologie
  • Komfortable Software PEM-ProVis Professional  Rechts-Klick zum Speichern - Links-Klick zum Öffnen

Applikationsschrift Plasma-Emissionsmessung  Rechts-Klick zum Speichern - Links-Klick zum Öffnen


Die Plasma-Emission wird im Rezipienten über ein spezielles, flexibles Vakuum-Lichtleitkabel erfasst, welches über einen Flansch mit einem regulären Lichtleiter zu unseren TranSpec Spektrometern verbunden ist.

Beachten Sie, dass es durch die Verwendung des flexiblen Vakuum-Lichtleiter möglich ist, die Plasma-Emission ortsaufgelöst an verschiedenen Stellen im Rezipienten zu messen!
Messaufbau zur Plasma-Emissionsmessung

Das  Bild rechts zeigt einen KF-50 Vakuumflansch mit zwei FSMA-Adaptern zum Anschluss eines Vakuum-Lichtleiters und eines normalen Lichtleiters in Richtung des TranSpec Spektrometers.

Vakuumflansch mit zwei Lichtleitern